Photomodulated Optical Reflectance: A Fundamental Study Aimed at Non-Destructive Carrier Profiling in Silicon

af

indgår i serie Springer Theses


Photomodulated Optical Reflectance: A Fundamental Study Aimed at Non-Destructive Carrier Profiling in Silicon
Format:
Bog, hardback
Udgivelsesdato:
01-06-2012
Sprog:
Engelsk
  • Beskrivelse
  • Yderligere info
  • Anmeldelser

One of the critical issues in semiconductor technology is the precise electrical characterization of ultra-shallow junctions. Among the plethora of measurement techniques, the optical reflectance approach developed in this work is the sole concept that does not require physical contact, making it suitable for non-invasive in-line metrology. This work develops extensively all the fundamental physical models of the photomodulated optical reflectance technique and introduces novel approaches that extend its applicability from dose monitoring towards detailed carrier profile reconstruction. It represents a significant breakthrough in junction metrology with potential for industrial implementation.

Andre udgaver:

Bog, hæftet

Vis mereVis mindre

ISBN13:
9783642301070
Vægt:
499 g
Dybde:
14 mm
Bredde:
156 mm
Højde:
234 mm
Forlag:
Springer
Format:
Hardback

Vis mereVis mindre

Vis mereVis mindre

Photomodulated Optical Reflectance: A Fundamental Study Aimed at Non-Destructive Carrier Profiling in Silicon

af

indgår i serie Springer Theses

  • Leveringstid 4-6 hverdage
  • Forventet levering 29-07-2019

på lager

Fandt du ikke hvad du søgte?

Hvis denne bog ikke er noget for dig, kan du benytte kategorierne nedenfor til at finde andre titler. Klik på en kategori for at se lignende bøger.

Velkommen til Saxo

Du har nu adgang til din konto hos Saxo, og kan se alle oplysninger om dit medlemskab, dine
ordrer og din digitale boghylde under "Mit Saxo".

Som tak for, at du har aktiveret dit medlemskab, har vi valgt at give dig fri læsning hele
sommeren. Dvs. at du frit kan tilgå de mere en 50.000 bøger i Saxos app, samt købe bøger til
vores altid lave medlemspris og fri fragt her på Saxo.com hele juli. Din næste medlemsbetaling
vil først falde i august.

Vi glæder os meget til at byde dig velkommen i vores univers, og håber at du kommer godt i
gang med Saxo Premium.

God sommer og god læselyst!

Med venlig hilsen Saxo

Kom i gang nu!