Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies

indgår i serie NATO Science Series: II: Mathematics, Physics and Chemistry


Studiebog
Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies
Du sparer Spar kr. 40,00 med Shopping-fordele
  • Leveringstid 6-10 hverdage (Sendes fra fjernlager)
  • Forventet levering 05-11-2021
For at købe bogen til fordelspris skal du have et medlemskab med Shopping-fordele.
Du kan prøve medlemskabet gratis i 30 dage. Medlemskabet fornyes automatisk og kan altid opsiges.
Format:
Bog, hardback
Udgivelsesdato:
01-04-2002
Sprog:
Engelsk
Udgave:
2002 ed..
  • Beskrivelse
  • Yderligere info
  • Anmeldelser

An up-to-date collection of tutorial papers on the latest advances in the deposition and growth of thin films for micro and nano technologies. The emphasis is on fundamental aspects, principles and applications of deposition techniques used for the fabrication of micro and nano devices. The deposition of thin films is described, emphasising the gas phase and surface chemistry and its effects on the growth rates and properties of films. Gas-phase phenomena, surface chemistry, growth mechanisms and the modelling of deposition processes are thoroughly described and discussed to provide a clear understanding of the growth of thin films and microstructures via thermally activated, laser induced, photon assisted, ion beam assisted, and plasma enhanced vapour deposition processes.A handbook for engineers and scientists and an introduction for students of microelectronics.

Vis mereVis mindre

Udgivelsesdato:
01-04-2002
ISBN13:
9781402005244
Vægt:
747 g
Dybde:
22 mm
Bredde:
155 mm
Højde:
235 mm
Nummer i serien:
55
Format:
Hardback
Forfattere

    Vis mereVis mindre

    Vis mereVis mindre

    Fandt du ikke hvad du søgte?

    Hvis denne bog ikke er noget for dig, kan du benytte kategorierne nedenfor til at finde andre titler. Klik på en kategori for at se lignende bøger.

    Velkommen til Saxo – din danske boghandel!

    Hos os kan du handle som gæst, Saxo-bruger eller Premium-medlem – du bestemmer helt selv. Skulle du få brug for hjælp, sidder vores kundeservice-team klar ved både telefonerne og tasterne.

    Om fordelspriser hos Saxo

    For at købe bøger til fordelspris, skal du være medlem af Premium, Premium Shopping eller Premium Studie. De første 30 dage er gratis for nye medlemmer. Medlemskabet fornyes automatisk og kan altid opsiges. Læs mere om fordelene ved vores forskellige medlemskaber her.

    Machine Name: SAXO082